C00358 - SEMI C3.58 - 八フッ化シクロブタン（C4F8），電子グレード，シリンダ充填，品質99.999%の仕様 Revision:SEMI C3.58-0303 - Superseded 本ガイドは，MEからのF-GHG排出特性評価に適用される。

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本ガイドは，MEからのF-GHG排出特性評価に適用される。

SEMI M61-0612 (Reapproved 0319)

3D normal luminance uniformity

この文書は，SEMI E78，SEMI E43，静電気を測定するその他の方法，および静電気制御方法の性能パラメータを参照している。

SEMI M42-0211 (technical revision)

C00358 - SEMI C3.58 - 八フッ化シクロブタン（C4F8），電子グレード，シリンダ充填，品質99.999%の仕様 Revision:SEMI C3.58-0303 - Superseded 本ガイドは，MEからのF-GHG排出特性評価に適用される。NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI Gases Global Technical Committee2011912global Audits and Reviews Subcommittee201110www. semiviews. org www. semi. org20033 (C4F8) (C4F8) Referenced SEMI Standards None.

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